UN ESTUDIO CON ESPECTROSCOPÍA RAMAN DE PELÍCULAS DELGADAS DE SILICIO MICROCRISTALINO DOPADO TIPO P
UN ESTUDIO CON ESPECTROSCOPÍA RAMAN DE PELÍCULAS DELGADAS DE SILICIO MICROCRISTALINO DOPADO TIPO P
Se estudian las propiedades estructurales, ópticas y eléctricas de películas delgadas microcristalinas de silicio tipo p, depositadas a muy baja temperatura en función de la concentración de diborano en los gases de reacción y de la naturaleza del sustrato. Las películas fueron depositadas; sobre vi...
| Título de la revista: | Anales de la Asociación Física Argentina |
|---|---|
| Primer autor: | S. B. Concari |
| Otros autores: | R. H. Buitrago; G. Risso; M. Cutrera; M. Battioni |
| Idioma: | Español |
| Enlace del documento: | https://anales.fisica.org.ar/journal/index.php/analesafa/article/view/915 |
| Tipo de recurso: | Documento de revista |
| Fuente: | Anales de la Asociación Física Argentina; Vol 11, No 1 (Año 2000). |
| Entidad editora: | Asociación Física Argentina |
| Derechos de uso: | Reconocimiento - NoComercial (by-nc) |
| Materias: | Ciencias Físicas e Ingeniería --> Física |
| Resumen: | Se estudian las propiedades estructurales, ópticas y eléctricas de películas delgadas microcristalinas de silicio tipo p, depositadas a muy baja temperatura en función de la concentración de diborano en los gases de reacción y de la naturaleza del sustrato. Las películas fueron depositadas; sobre vidrio corning 7059, acero inoxidable y un óxido trasparente conductor (TCO) en un reactor tipo VHF-PECVD, capacitivamente acoplado, empleando como gas de plasma una mezcla de silano altamente diluido con hidrógeno, y diborano. Los espectros de dispersión Raman revelan un claro efecto de la concentración de boro sobre la fracción de cristalinidad, evidenciada por un pico asimétrico alrededor de los 520 cm-1, ajustable por dos picos lorentzianos. Uno de ellos (520 cm-1) se corresponde con la dispersión fonónica en modo transversal óptico (TO) del seno del material y el otro (~ 510 cm-1) es interpretado en términos de una distribución no homogénea de grano o contribución fonónica de superficie intergranular. A pesar de la baja temperatura de deposición, el boro en altas concentraciones induce la formación de cristales (fracción cristalina superior al 90 %), y aún en concentraciones bajas, fracciones cristalinas superiores al 40 % |
|---|
